Dynaaminen skannaus Optisen järjestelmän optiikka: 1kpl Pieni tarkennuslinssi 、 1-2PC: n tarkennuslinssi 、 Galvo -peili. Koko optinen linssi muodostaa palkin laajenemisen, tarkennuksen ja säteen taipuman ja skannauksen funktion.
Laajentava osa on negatiivinen linssi, ts. Pieni tarkennuslinssi, joka toteuttaa säteen laajennuksen ja liikkuva zoom, tarkennuslinssi koostuu positiivisten linssien ryhmästä. Galvo -peili on peili galvanometrijärjestelmässä.
(1) Linssisuunnittelun optimointi: halkaisijan optimaalinen suhde paksuussuhteeseen
(2) Linssin korkea vauriokynnys:> 30J/cm2 10ns
(3) Erittäin alhainen absorptiopäällyste, absorptioaste: <20ppm
(4) Galvanometrin paksuus halkaisija -suhde: 1Lea
(5) Linssin pinnan tarkkuus: <= λ/5
Objektiivisen linssi
| Enimmäiskäynnin oppilas (MM) | Optiikka 1 halkaisija (mm) | Optiikka 2 halkaisija (mm) | Optiikka 3 halkaisija (mm) | Skannauskenttä (mm) | Selkeä aukko skannerin (mm) | Aallonpituus |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Heijastinpeili
| Osien kuvaus | Halkaisija (mm) | Paksuus (mm) | Materiaali | Pinnoite |
| Piin heijastin | 25.4 | 3 | Pii | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Piin heijastin | 30 | 4 | Pii | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Kuidun heijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm ， AOI: 45 ° |
| Kuidun heijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm ， AOI: 45 ° |
| Kuidun heijastin | 50 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm ， AOI: 45 ° |
| 532 heijastin | 25.4 | 6 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, Aoi: 45 ° |
| 532 heijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, Aoi: 45 ° |
| 532 heijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, Aoi: 45 ° |
| 532 heijastin | 50 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, Aoi: 45 ° |
| 355 heijastin | 25.4 | 6 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm & 433nm, Aoi: 45 ° |
| 355 heijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm & 433nm, Aoi: 45 ° |
| 355 heijastin | 25.4 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm & 433nm, Aoi: 45 ° |
| 355 heijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm & 433nm, Aoi: 45 ° |
Galvon peili
| Osien kuvaus | Enimmäiskäynnin oppilas (MM) | Materiaali | Pinnoite | Aallonpituus |
| 55 mml*35 mmw*3,5 mmt-x 62 mml*43 mmw*3,5 mmt-y | 30 | Pii | MMR@10.6um | 10,6um |
| 55 mml*35 mmw*3,5 mmt-x 62 mml*43 mmw*3,5 mmt-y | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55 mml*35 mmw*3,5 mmt-x 62 mml*43 mmw*3,5 mmt-y | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@532nm | 532nm |
| 55 mml*35 mmw*3,5 mmt-x 62 mml*43 mmw*3,5 mmt-y | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm | 355 nm |
Suojalinssi
| Halkaisija (mm) | Paksuus (mm) | Materiaali | Pinnoite |
| 75 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2,5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
