Dynaaminen skannaava optinen järjestelmäoptiikka: 1 kpl pieni tarkennuslinssi, 1-2 kpl tarkennuslinssi, Galvo-peili. Koko optinen linssi muodostaa säteen laajenemisen, tarkennuksen ja säteen taipumisen ja skannauksen funktion.
Laajennusosa on negatiivinen linssi eli pieni tarkennuslinssi, joka toteuttaa säteen laajennuksen ja liikkuvan zoomin, tarkennuslinssi koostuu ryhmästä positiivisia linssejä. Galvo-peili on peili galvanometrijärjestelmässä.
(1) Linssin suunnittelun optimointi: Optimaalinen halkaisijan ja paksuuden suhde
(2) Linssin korkea vauriokynnys:>30J/cm2 10ns
(3) Erittäin alhainen absorptiopinnoite, absorptionopeus: <20 ppm
(4) Galvanometrin paksuuden ja halkaisijan suhde: 1：35
(5) Linssin pinnan tarkkuus:<= λ/5
Objektiivin jälkeinen linssi
| Suurin sisääntulopupilli (mm) | Optiikka 1 Halkaisija (mm) | Optiikka 2 Halkaisija (mm) | Optiikka 3 Halkaisija (mm) | Skannauskenttä (mm) | Kirkas aukko skannerista (mm) | Aallonpituus |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Heijastin peili
| Osan kuvaus | Halkaisija (mm) | Paksuus (mm) | Materiaali | Pinnoite |
| Silikoninen heijastin | 25.4 | 3 | Pii | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Silikoninen heijastin | 30 | 4 | Pii | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Kuituheijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Kuituheijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Kuituheijastin | 50 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| 532 Heijastin | 25.4 | 6 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Heijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Heijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Heijastin | 50 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Heijastin | 25.4 | 6 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Heijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Heijastin | 25.4 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Heijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Galvo peili
| Osan kuvaus | Suurin sisääntulopupilli (mm) | Materiaali | Pinnoite | Aallonpituus |
| 55mmL*35mmL*3,5mmT-X 62mmL*43mmL*3,5mmT-Y | 30 | Pii | MMR@10.6um | 10,6 um |
| 55mmL*35mmL*3,5mmT-X 62mmL*43mmL*3,5mmT-Y | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mmL*35mmL*3,5mmT-X 62mmL*43mmL*3,5mmT-Y | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@532nm | 532 nm |
| 55mmL*35mmL*3,5mmT-X 62mmL*43mmL*3,5mmT-Y | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm | 355 nm |
Suojaava linssi
| Halkaisija (mm) | Paksuus (mm) | Materiaali | Pinnoite |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
