Dynaaminen skannausoptinen optiikka: 1 kpl pieni tarkennuslinssi, 1-2 kpl tarkennuslinssi, Galvo-peili. Koko optinen linssi muodostaa säteen laajenemisen, tarkennuksen ja säteen taipumisen ja skannauksen funktion.
Laajeneva osa on negatiivinen linssi eli pienipolttoinen linssi, joka toteuttaa säteen laajentumisen ja liikkuvan zoomauksen. Tarkennuslinssi koostuu ryhmästä positiivisia linssejä. Galvopeili on peili galvanometrijärjestelmässä.
(1) Linssin suunnittelun optimointi: Halkaisijan ja paksuuden optimaalinen suhde
(2) Linssin korkea vauriokynnys: > 30J/cm2 10ns
(3) Erittäin matalan absorption pinnoite, absorptionopeus: <20 ppm
(4) Galvanometrin paksuuden ja halkaisijan suhde: 1:35
(5) Linssin pinnan tarkkuus: <= λ/5
Objektiivin jälkeinen linssi
Suurin sisääntulopupilli (mm) | Optiikka 1 Halkaisija (mm) | Optiikka 2 Halkaisija (mm) | Optiikka 3 Halkaisija (mm) | Skannauskenttä (mm) | Kirkas aukko Skannerin halkaisija (mm) | Aallonpituus |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 um |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030–1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Heijastinpeili
Osan kuvaus | Halkaisija (mm) | Paksuus (mm) | Materiaali | Pinnoite |
Piiheijastin | 25.4 | 3 | Pii | HR@10.6um,AOI: 45° |
Piiheijastin | 30 | 4 | Pii | HR@10.6um,AOI: 45° |
Kuituheijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
Kuituheijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
Kuituheijastin | 50 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
532 Heijastin | 25.4 | 6 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Heijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Heijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Heijastin | 50 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
355 Heijastin | 25.4 | 6 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm & 433nm, AOI: 45° |
355 Heijastin | 25.4 | 6.35 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm & 433nm, AOI: 45° |
355 Heijastin | 25.4 | 10 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm & 433nm, AOI: 45° |
355 Heijastin | 30 | 5 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm & 433nm, AOI: 45° |
Galvo-peili
Osan kuvaus | Suurin sisääntulopupilli (mm) | Materiaali | Pinnoite | Aallonpituus |
55 mmP * 35 mmL * 3,5 mmH-X 62 mm P * 43 mm L * 3,5 mm Y-mitta | 30 | Pii | MMR@10.6um | 10,6 um |
55 mmP * 35 mmL * 3,5 mmH-X 62 mm P * 43 mm L * 3,5 mm Y-mitta | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@1030-1090nm | 1030–1090 nm |
55 mmP * 35 mmL * 3,5 mmH-X 62 mm P * 43 mm L * 3,5 mm Y-mitta | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@532nm | 532 nm |
55 mmP * 35 mmL * 3,5 mmH-X 62 mm P * 43 mm L * 3,5 mm Y-mitta | 30 | Sulatettu piidioksidi | HR@355nm | 355 nm |
Suojaava linssi
Halkaisija (mm) | Paksuus (mm) | Materiaali | Pinnoite |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |